济南诚泽机械有限公司专业生产罗茨鼓风机，三叶罗茨鼓风机，高压双油箱水冷式风机，沼气增压泵，管道增压泵，真空泵的厂家，公司本着“质量优质，诚信为本”的指导方针，以过硬的产品质量，及时完善的售后服务已在国内外市场占领一席之地。公司不仅有使您满意的销售，而且有令您放心的售后服务，彻底追求产品质量和建立相应的售后服务体系是我们一贯的方针，我们将总结经验、不断进取，研制出更新、更好的产品来满足用户的需求，用我们全位的服务，为您企业的发展作有力的后盾。

一、真空泵油的特性
1、密封性
真空泵配件中泵油需求具有适宜的粘度，在低温下能使真空泵疾速发起，在高温下泵油能具有杰出的密封性，在泵内泵油具有较低的温升。不含有轻质的易蒸发组分，下降运用进程中真空泵的返油率。
2、丰满蒸汽压
丰满蒸汽压是泵油较要害的目标之一。在恒温的密闭容器中，当汽液两相抵达动态均衡时的压力称谓丰满蒸汽压。
油品的丰满蒸汽压要尽量低，在泵的*高工作温度下，仍要具有足够低的丰满蒸汽压，并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要抵达6.5×10-5 kPa(因温升每上升20℃，丰满蒸汽压大
级)。
3、极限全压力和极限分压力
极限全压力：由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵悉数物质(气体)发作压强的总和。国外目前重视全压强的测试目标。
极限分压力：用水yin紧缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力，双级旋片泵分压力应为≤6×10-5kPa.极限全压力与极限分压力差值央求不大于一个数量级。二者之间的差值越大，泵油中含有的
多，油品的性质就越差。
4、真空泵配件中泵油的光滑性

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真空腔室的模块化设计和加工

该设备属生产设备，主要功能包括：钛/锆磁控溅 射镀装饰膜，反应膜、复合膜。其它功能还包括：行星旋转基片台、负偏压辅助沉积、PLC+HMI真空自动/手动控 制、水冷循环及断水保护系统，预留多个标准接口。真空腔室的模块化设计和加工。通过此项技术提高了腔室设计和加工效率，提高了重大部件的加工质量和互换性，缩短了整条线的交货周期。使用高性能旋转阴极和中频电源，大蒸发电流达到400A，大大提高生产效率及膜层性能；通过辅助5段供气，提高真空环境工艺气体分布均匀性，提高膜层质量；安装整体式模块化阴极屏蔽挡板，大大减少维修时间，降低维修成本。阴极采用隔离冷却装置，改变以往阴极磁钢因工作在循环水中不断吸附杂质而影响磁场强度和寿命。新方法使磁钢工作在真空环境，大大提高了阴极稳定性和寿命。采用自主研发的倾斜式磁钢矩阵排列，二级罗茨真空泵厂家，扩大了阴极靶材表面气隙场范围，增大了靶材被刻蚀溅射的面积，提高靶材的利用率和均匀性。表面气隙场水平分量均匀性在±2%以内。使用自主研发的三维空间磁场测量分析系统，系统用于测量磁钢阵列的空间气隙场分布及磁钢安装、调整，为阴极研发提供有效的技术手段。触摸屏+PLC，可以实现电脑全自动控制，自动/手动随时切换。同时配备先进的圆柱磁控溅射装置和高效的电阻加热蒸发装置，将磁控溅射技术和加热蒸发技术的有效结合，使设备的适用范围更广，可得到多种不同性能的膜层；独特的双门（室）结构，使工件及镀料的装卸与镀膜可同时进行，大大提高工作效率。

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干式真空泵日常维修及保养注意事项
对于整个真空泵行业来说，在未来干式真空泵 将成为行业发展的主流趋势，虽然现在用的还不多，除了价格高原因外，还有用户对干式真空泵的了解不到位，看不到带
济效益，下面小编就来给大家介绍一下干式真空泵维修和保养。
对于这些不同类型的干式真空泵，我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾，因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然，还有一个影
速率的重要因素，那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高它的转速。真空泵维修保养非常重要。而想要改变真空泵的转速有两种方法，一是改变
采用变频器;二是改变齿轮箱的传动比。其中，采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制，二级罗茨真空泵生产厂家，但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法，当然，它只能提供不可控
现在，可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计，它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来，使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行
去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计，同多级泵如圆裂片式，爪式以及
在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
综合考虑，如果用户认为耗电量对他来说*为重要而氮气用量对他来说*不重要，那么选择内部压缩型螺杆式可以是一个好的选择。但普遍说来，对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量
果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺，而使得你的库存控制简单化，那么外部压缩型螺杆式是你*好的选择。